Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок титана, полученных методом термического испарения в вакууме Full article
Journal |
Фундаментальные проблемы современного материаловедения
ISSN: 1811-1416 |
||
---|---|---|---|
Output data | Year: 2013, Volume: 10, Number: 2, Pages: 194-199 Pages count : 6 | ||
Tags | термическое испарение, микрорельеф, структура, пленка титана, спектральная эллипсометрия | ||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Abstract:
В данной работе исследованы структура, микрорельеф и оптические свойства толстых непрозрачных пленок титана, нанесенных на подложки из плавленого кварца и кремния методом термического испарения. Исследования структуры методом дифракции электронов высокой энергии на отражение показали, что поверхностный слой пленок титана является аморфным. Исследования микрорельефа методом атомной силовой микроскопии показали, что поверхность пленок титана является достаточно гладкой с максимальным размером шероховатостей не превышающим 5-6 нм, в случае пленок нанесенных на плавленый кварц. Исследования оптических свойств пленок титана методом спектральной эллипсометрии позволили получить спектральные кривые показателя преломления, n (λ), и коэффициента поглощения, k (λ), в диапазоне длин 250-1100 нм. Полученные спектральные зависимости качественно соответствуют обычным кривым n( l ) и k( l ) для металлов.
Cite:
Кочубей В.А.
, Атучин В.В.
, Кожухов А.С.
, Кручинин В.Н.
, Покровский Л.Д.
Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок титана, полученных методом термического испарения в вакууме
Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2013. Т.10. №2. С.194-199. РИНЦ
Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок титана, полученных методом термического испарения в вакууме
Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2013. Т.10. №2. С.194-199. РИНЦ
Dates:
Accepted: | May 27, 2013 |
Identifiers:
Elibrary | 18910323 |
Citing:
Пока нет цитирований