Структурные исследования пленок диоксида кремния, осажденных из газовой фазы Full article
Journal |
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960 , E-ISSN: 0207-3528 |
||
---|---|---|---|
Output data | Year: 1989, Number: 3, Pages: 71-78 Pages count : 8 | ||
Tags | silica film vapor deposition structure property; deposition silica film chem vapor; structure silica film chem vapor deposition; porosity silica film chem vapor deposition; surface morphol silica film vapor deposition | ||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Cite:
Носков А.Г.
, Горохов Е.Б.
, Цейтлин Г.М.
, Гаврилова Т.А.
, Дроздов В.Н.
, Зайковский В.И.
, Соколова Г.А.
, Стенин С.И.
Структурные исследования пленок диоксида кремния, осажденных из газовой фазы
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. №3. С.71-78.
Структурные исследования пленок диоксида кремния, осажденных из газовой фазы
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. №3. С.71-78.
Dates:
Submitted: | Jan 28, 1988 |
Accepted: | Mar 21, 1988 |
Published print: | Mar 1, 1989 |
Identifiers:
Chemical Abstracts | 1989:415547 |
Chemical Abstracts (print) | 111:15547 |
Citing:
Пока нет цитирований