Стехиография в исследовании пространственной неоднородности химического состава и структуры тонких пленок» Conference attendances
Language | Русский | ||
---|---|---|---|
Participant type | Пленарный | ||
Conference |
Четвертый семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы «Кузнецовские чтения-2017» 01-03 Feb 2017 , Новосибирск |
||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Cite:
Малахов В.В.
Стехиография в исследовании пространственной неоднородности химического состава и структуры тонких пленок»
Четвертый семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы «Кузнецовские чтения-2017» 01-03 февр. 2017
Стехиография в исследовании пространственной неоднородности химического состава и структуры тонких пленок»
Четвертый семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы «Кузнецовские чтения-2017» 01-03 февр. 2017