Sciact
  • EN
  • RU

Исследование кинетики адсорбции XeF2 на поверхности Si(100) методом РФЭС Научная публикация

Журнал Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960 , E-ISSN: 0207-3528
Вых. Данные Год: 1992, Номер: 3, Страницы: 46-52 Страниц : 7
Авторы Алиев В.Ш 1 , Бакланов М.Р. 1 , Бухтияров В.И. 1
Организации
1 Институт физики полупроводников СО Российской академии наук, Новосибирск
Библиографическая ссылка: Алиев В.Ш. , Бакланов М.Р. , Бухтияров В.И.
Исследование кинетики адсорбции XeF2 на поверхности Si(100) методом РФЭС
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1992. №3. С.46-52. РИНЦ CAPlusCA
Даты:
Поступила в редакцию: 28 апр. 1990 г.
Принята к публикации: 29 мая 1990 г.
Опубликована в печати: 1 мар. 1992 г.
Идентификаторы БД:
РИНЦ: 47561414
Chemical Abstracts: 1992:578922
Chemical Abstracts (print): 117:178922
Цитирование в БД: Пока нет цитирований