Abstract: Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона. Исследовались физико-механические и оптические свойства пленок для использования в качестве антиотражающих и защитных покрытий в устройствах ИК-оптики. Прозрачность пленок в диапазоне длин волн 2.5-8 мкм измерялась методом инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура и состав пленок изучались методами рамановской и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок определялись с помощью наноиндентирования. Показано, что двухстороннее нанесение a-C:H:SiO x -пленок на Si-пластины позволяет повысить их интегральную пропускную способность в области длин волн 3-5 мкм с 50 до 87 %. При этом пленки обладают отличными механическими характеристиками, термостойкостью в диапазоне температур от комнатной до 500 °С и стойкостью к водным растворам соли.

Cite: Гренадёров А.С. , Оскомов К.В. , Соловьёв А.А. , Селиванова А.В. , Конищев М.Е.
Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики
Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т.62. №11. С.143-150. DOI: 10.17223/00213411/62/11/143RSCI РИНЦ OpenAlex

Translated: Grenaderov A.S. , Oskomov K.V. , Solovyev A.A. , Selivanova A.V. , Konishchev M.E.
Plasma-Chemical Deposition of Anti-Reflection and Protective Coating for Infrared Optics
Russian Physics Journal. 2020. V.62. N11. P.2112-2120. DOI: 10.1007/s11182-020-01954-3 WOS Scopus РИНЦ AN OpenAlex

Files: Full text from publisher

Dates:

Submitted:

Sep 13, 2019

Identifiers:

RSCI:	RSCI:41420227
Elibrary:	41420227
OpenAlex:	W4243024136

Citing: Пока нет цитирований

Altmetrics: