Sciact
  • EN
  • RU

Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти Тезисы доклада

Конференция Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света «Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований»
05-09 июн. 2023 , Новосибирск
Сборник Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований: Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света
Сборник, Издательство "Перо. Москва.2023. 156 c. ISBN 9785002182992. РИНЦ
Вых. Данные Год: 2023, Страницы: 64 Страниц : 1 DOI: 10.34077/SCATTERING95-64
Авторы Володин В.А. 1,2 , Гриценко В.А. 1,3 , Камаев Г.Н. 1 , Черкова С.Г. 1 , Азаров И.А. 1,2 , Новиков Ю.н. 1 , Гисматулин А.А. 1 , Просвирин И.П. 4
Организации
1 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, 630090, проспект академика Лаврентьева, 13
2 Новосибирский государственный университет, Новосибирск, 630090, ул. Пирогова, 2
3 Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, 630073, пр. Маркса, 20
4 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, 630090, пр. академика Лаврентьева, 5

Информация о финансировании (1)

1 Российский научный фонд 22-19-00369
Библиографическая ссылка: Володин В.А. , Гриценко В.А. , Камаев Г.Н. , Черкова С.Г. , Азаров И.А. , Новиков Ю.н. , Гисматулин А.А. , Просвирин И.П.
Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти
В сборнике Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований: Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. – Издательство "Перо., 2023. – C.64. – ISBN 9785002182992. DOI: 10.34077/SCATTERING95-64 РИНЦ OpenAlex
Идентификаторы БД:
РИНЦ: 54155622
OpenAlex: W4380626785
Цитирование в БД: Пока нет цитирований
Альметрики: