Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти Conference Abstracts

Conference

Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света «Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований»
05-09 Jun 2023 , Новосибирск

Source

Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований: Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света
Compilation, Издательство "Перо. Москва.2023. 156 c. ISBN 9785002182992. РИНЦ

Output data

Year: 2023, Pages: 64 Pages count : 1 DOI: 10.34077/SCATTERING95-64

Authors

Володин В.А. ^1,2 , Гриценко В.А. ^1,3 , Камаев Г.Н. ¹ , Черкова С.Г. ¹ , Азаров И.А. ^1,2 , Новиков Ю.н. ¹ , Гисматулин А.А. ¹ , Просвирин И.П. ⁴

Affiliations

1	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, 630090, проспект академика Лаврентьева, 13
2	Новосибирский государственный университет, Новосибирск, 630090, ул. Пирогова, 2
3	Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, 630073, пр. Маркса, 20
4	Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Новосибирск, 630090, пр. академика Лаврентьева, 5

Funding (1)

Russian Science Foundation

22-19-00369

Володин В.А. , Гриценко В.А. , Камаев Г.Н. , Черкова С.Г. , Азаров И.А. , Новиков Ю.н. , Гисматулин А.А. , Просвирин И.П.
Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти
In compilation Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований: Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света. – Издательство "Перо., 2023. – C.64. – ISBN 9785002182992. DOI: 10.34077/SCATTERING95-64 РИНЦ OpenAlex

Elibrary:	54155622
OpenAlex:	W4380626785

Пока нет цитирований