Sciact
  • EN
  • RU

A Study of the Structure of (HfO2 ) x (Al2 O3)1−x /Si Films by X-Ray Photoelectron Spectroscopy Научная публикация

Журнал Journal of Structural Chemistry
ISSN: 0022-4766 , E-ISSN: 1573-8779
Вых. Данные Год: 2011, Том: 52, Номер: 3, Страницы: 480-487 Страниц : 8 DOI: 10.1134/S002247661103005X
Ключевые слова Alumina, Binary solution, Hafnium aluminate, Hafnium dioxide, Layer-by-layer analysis, X-ray photoelectron spectroscopy
Авторы Kaichev V.V. 1 , Dubinin Yu.V. 1 , Smirnova T.P. 2 , Lebedev M.S. 2
Организации
1 G. K. Boreskov Institute of Catalysis, Siberian Division, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk
2 A. V. Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Division, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk

Информация о финансировании (1)

1 Сибирское отделение Российской академии наук 70

Реферат: By X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), using the technique of layer-by-layer analysis, the films of (HfO2) x (Al2O3)1−x solid solutions synthesized by chemical vapor deposition are studied. The possibility to determine the structure of solid binary solutions based on the analysis of the XPS spectra is demonstrated.
Библиографическая ссылка: Kaichev V.V. , Dubinin Y.V. , Smirnova T.P. , Lebedev M.S.
A Study of the Structure of (HfO2 ) x (Al2 O3)1−x /Si Films by X-Ray Photoelectron Spectroscopy
Journal of Structural Chemistry. 2011. V.52. N3. P.480-487. DOI: 10.1134/S002247661103005X WOS Scopus РИНЦ CAPlusCA OpenAlex
Оригинальная: Каичев В.В. , Дубинин Ю.В. , Смирнова Т.П. , Лебедев М.С.
Изучение структуры пленок (HfO2)x(Al2O3)1–x/Si методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
Журнал структурной химии. 2011. Т.52. №3. С.495-502. RSCI РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: 5 мар. 2010 г.
Опубликована в печати: 1 июн. 2011 г.
Опубликована online: 29 июл. 2011 г.
Идентификаторы БД:
Web of science: WOS:000294860200005
Scopus: 2-s2.0-80054764488
РИНЦ: 18009920
Chemical Abstracts: 2011:947680
Chemical Abstracts (print): 155:601881
OpenAlex: W2040937254
Цитирование в БД:
БД Цитирований
Web of science 11
Scopus 11
РИНЦ 12
OpenAlex 11
Альметрики: