Distortions of the Crystal Lattice in Epitaxial Nanostructures Научная публикация
Журнал |
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques
ISSN: 1027-4510 , E-ISSN: 1819-7094 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2001, Том: 16, Номер: 9, Страницы: 1455-1462 Страниц : 8 | ||||
Ключевые слова | Epitaxial growth; Film growth; Interferometers; Nanostructured materials; Porous silicon; Synchrotron radiation; X ray analysis | ||||
Авторы |
|
||||
Организации |
|
Реферат:
Results of developing methods of application of X-ray and synchrotron radiation for the study of distortions of the crystal lattice in semiconductor nanostructures are presented. The equations, which make it possible to determine tetragonal distortions of the crystal lattice and the superlattice period from the analysis of the diffraction curves obtained in the mode of the variable wavelength of synchrotron radiation, have been derived. The procedure is promising for in situ monitoring during epitaxial film growth to obtain defect-free nanostructures. The structure of a film X-ray interferometer containing the high-perfect epitaxial film, the silicon substrate and the separating layer of porous silicon has been studied. The difference in the nanorelief of the like atomic planes of the film and substrate has been detected with a sensitivity better than one angström.
Библиографическая ссылка:
Vasilenko A.P.
, Kolesnikov A.V.
, Nikitenko S.G.
, Revenko M.A.
, Sokolov L.V.
, Fedorov A.A.
, Trukhanov E.M.
Distortions of the Crystal Lattice in Epitaxial Nanostructures
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2001. V.16. N9. P.1455-1462. Scopus РИНЦ
Distortions of the Crystal Lattice in Epitaxial Nanostructures
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2001. V.16. N9. P.1455-1462. Scopus РИНЦ
Оригинальная версия:
Василенко А.П.
, Колесников А.В.
, Никитенко С.Г.
, Ревенко М.А.
, Соколов Л.В.
, Федоров А.А.
, Труханов Е.М.
Исследование искажений кристаллической решетки в эпитаксиальных наноструктурах
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. №9. С.64-68. РИНЦ
Исследование искажений кристаллической решетки в эпитаксиальных наноструктурах
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. №9. С.64-68. РИНЦ
Идентификаторы БД:
Scopus | 2-s2.0-0042068156 |
РИНЦ | 13373236 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований