Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов Full article
Journal |
Журнал технической физики
ISSN: 0044-4642 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2011, Volume: 81, Number: 9, Pages: 113-118 Pages count : 6 | ||||||
Authors |
|
||||||
Affiliations |
|
Abstract:
Предложена и экспериментально апробирована новая технология формирования тонких наноструктурированных слоев на полупроводниковых и диэлектрических подложках газогетерогенным синтезом из малоразмерных летучих комплексов металлов. Тонкие наноструктурированные слои меди на кремниевых и кварцевых подложках получены из малоразмерных летучих формиатных комплексов в условиях процесса совмещенного синтеза-переноса. Установлено, что медь в слоях, полученных этим методом, преимущественно находится в металлическом состоянии (Cu0) в виде плотно упакованных наноразмерных гранул с характерной структурой.
Cite:
Бадалян А.М.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Поляков О.В.
, Пчеляков О.П.
, Смирнов Г.И.
Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
Журнал технической физики. 2011. Т.81. №9. С.113-118. РИНЦ
Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
Журнал технической физики. 2011. Т.81. №9. С.113-118. РИНЦ
Translated:
Badalyan A.M.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Polyakov O.V.
, Pchelyakov O.P.
, Smirnov G.I.
New Technique for Heterogeneous Vapor-Phase Synthesis of Nanostructured Metal Layers from Low-Dimensional Volatile Metal Complexes
Technical Physics. 2011. V.56. N9. P.1333-1338. DOI: 10.1134/S1063784211090039 WOS Scopus РИНЦ
New Technique for Heterogeneous Vapor-Phase Synthesis of Nanostructured Metal Layers from Low-Dimensional Volatile Metal Complexes
Technical Physics. 2011. V.56. N9. P.1333-1338. DOI: 10.1134/S1063784211090039 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Nov 29, 2010 |
Identifiers:
Elibrary | 20325229 |
Citing:
Пока нет цитирований