21
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Микроструктура и химическое связывание в пленках карбонитрида кремния, синтезированных методом
плазмохимического осаждения из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2003.
Т.44. №1. С.195-199.
РИНЦ
|
22
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Microstructure and Chemical Bonding in Silicon Carbonitride Films Synthesized by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2003.
V.44. N1. P.169-173. DOI: 10.1023/A:1024953518950
WOS
Scopus
РИНЦ
|
23
|
Smirnova T.P.
, Badalian A.M.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Rachlin V.I.
, Fomina A.N.
SiCN Alloys Obtained by Remote Plasma Chemical Vapour Deposition from Novel Precursors
Thin Solid Films. 2003.
V.429. N1-2. P.144-151. DOI: 10.1016/S0040-6090(03)00408-5
WOS
Scopus
РИНЦ
|
24
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbonitride Films from Volatile Silyl Derivatives of 1,1-Dimethylhydrazine
High Energy Chemistry. 2003.
V.37. N5. P.303-309. DOI: 10.1023/A:1025700829352
WOS
Scopus
РИНЦ
|
25
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина
Химия высоких энергий. 2003.
Т.37. №5. С.348-354.
РИНЦ
|
26
|
Badalyan A.M.
, Belyi V.I.
, Gel'fond N.V.
, Igumenov I.K.
, Kosinova M.L.
, Morozova N.B.
, Rastorguev A.A.
, Rumyantsev Y.M.
, Smirnova T.P.
, Fainer N.I.
, Yakovkina L.V.
Chemical Composition and Structure of Thin Films Produced by Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2002.
V.43. N4. P.556-580. DOI: 10.1023/A:1022084017202
WOS
Scopus
РИНЦ
|
27
|
Бадалян А.М.
, Белый В.И.
, Гельфонд Н.В.
, Игуменов И.К.
, Косинова М.Л.
, Морозова Н.Б.
, Расторгуев А.А.
, Румянцев Ю.М.
, Смирнова Т.П.
, Файнер Н.И.
, Яковкина Л.В.
Химическое строение и структура тонких пленок, полученных химическим осаждением из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2002.
Т.43. №4. С.605-628.
|
28
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Яковкина Л.В.
, Сысоева Н.П.
, Асанов И.П.
, Каичев В.В.
, Бухтияров В.И.
, Шмаков А.Н.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников
Химия в интересах устойчивого развития. 2001.
Т.9. №7. С.857-864.
РИНЦ
|
29
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Yakovkina L.V.
, Sysoeva N.P.
, Asanov I.P.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Shmakov A.N.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Silicon Carbonitride Films as a Promising Material Synthesized from New Sources
Chemistry for Sustainable Development. 2001.
V.9. N7. P.23-29.
РИНЦ
|
30
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Бадалян А.М.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Бухтияров В.И.
Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана
Химия в интересах устойчивого развития. 2000.
Т.8. №5. С.731-738.
РИНЦ
|
31
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Амосов Ю.И.
, Данилович О.В.
Синтез слоев SiNx:H из гексаметилциклотрисилазана с использованием удаленной плазмы
Неорганические материалы. 1996.
Т.32. №6. С.696-700.
|
32
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Amosov Y.I.
, Danilovich O.V.
Downstream Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of SiNx:H Films from Hexamethylcyclotrisilazane
Inorganic Materials. 1996.
V.32. N6. P.615-619.
WOS
Scopus
РИНЦ
|
33
|
Smirnova T.P.
, Jakovkina L.V.
, Jashkin I.L.
, Sysoeva N.P.
, Amosov J.I.
Boron Nitride Films Prepared by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition from Borazine (B3N3H6)
Thin Solid Films. 1994.
V.237. N1-2. P.32-37. DOI: 10.1016/0040-6090(94)90235-6
WOS
Scopus
РИНЦ
|